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薄膜太阳电池用濺镀靶材



AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)平面靶材


AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)平面靶材

AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)圆柱靶材


AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)圆柱靶材

  • 透明导电掺铝 (AZO)与无掺铝 (ZnO) 靶材使用在于显示器、触控面板、太阳电池、OLED和其他薄膜产品领域。

产品规格

1. 化学指标

  • 组成比例
    AZO 靶材: 标准比率为 98wt% ZnO + 2wt% Al2O3 (比率公差为±0.5wt%)
    ZnO靶材: >99.99wt% 氧化锌
    GZO靶材: 按照客户的要求组成比例会调整
  • 纯度: >99.99%


2. 物理指标

  • 密度: ANP 的 AZO&ZnO 靶材具有 99.5%以上的实际密度
    GZO 靶材具有 99%以上的实际高密度
  • 外观: 平面或圆柱
  • 大小: 根据客户制造需求不同大小和形状
  • 靶材表面电阻率: 5x10-3 Ω/square


    • 3. 产品特性

    • 高透过率: >85%
    • 不存或很低的物理特性跟随的时间依赖性
    • 在蒸镀过程中产生无或小量分散颗粒
    • 在蒸镀过程中很少发生裂纹


    • 4. AZO (氧化鋅鋁) 的薄片电阻与厚度数据*

      4. AZO (氧化鋅鋁) 的薄片电阻与厚度数据

      应用领域

      • 薄膜太阳电池用透明导电膜